A measurement device for oscillation measurement, as well as a
corresponding method, is proposed, wherein the oscillation measurement is
performed by at least one laser interferometer (2, 3), whose measurement
beam is directed onto various measurement points (5) of the object (1)
for generating a scanning movement, and the obtained oscillation data is
correlated with the position data of the respective measurement point (5)
and evaluated or displayed. In particular, for three-dimensional
measurements, the invention reduces the measurement complexity because
the scanning device is a robot arm, which moves a measurement head of the
laser interferometer to the desired measurement points on the object.
Eine Maßvorrichtung für Pendelbewegung Maß, sowie eine entsprechende Methode, wird vorgeschlagen, worin das Pendelbewegung Maß durch mindestens ein Laser Interferometer durchgeführt wird (2, 3), dessen Maßlichtstrahl auf verschiedene Maßpunkte (5) des Gegenstandes (1) für das Erzeugen einer Abtastungbewegung verwiesen wird, und die erhaltenen Pendelbewegung Daten werden mit den Position Daten des jeweiligen Maßpunktes (5) aufeinander bezogen und ausgewertet oder angezeigt. Insbesondere für dreidimensionale Maße, verringert die Erfindung die Maßkompliziertheit, weil das Abtastgerät ein Roboterarm ist, der einen Maßkopf des Laser Interferometers auf die gewünschten Maßpunkte auf dem Gegenstand verschiebt.
