Integrated tools with transfer devices for handling microelectronic workpieces

   
   

Transfer devices for handling microelectronic workpieces, apparatus for processing microelectronic workpieces, and methods for manufacturing and using such transfer devices. One embodiment of a transfer device includes a transport unit configured to move along a linear track and a lift assembly carried by the transport unit. The transfer device can also include an arm assembly having an arm actuator carried by the lift assembly to move along a lift path and an arm carried by the arm actuator to rotate about the lift path. The arm can include a first extension projecting from one side of the lift path and a second extension projecting from another side of the lift path. The arm actuator can rotate the arm about the lift path. The transfer device can also include a first end-effector and a second end-effector. The first end-effector is rotatably coupled to the first section of the arm to rotate about a first rotation axis, and the second end-effector is rotatably coupled to the second extension of the arm to rotate about a second rotation axis. The first and second rotation axes can be generally parallel to the lift path, which itself can be substantially vertical, and the first and second end-effectors can be at different elevations relative to the arm.

Transfira dispositivos para segurar workpieces microelectronic, instrumento para processar workpieces microelectronic, e métodos para o manufacturing e usar tais dispositivos de transferência. Uma incorporação de um dispositivo de transferência inclui uma unidade do transporte configurarada para mover-se ao longo de uma trilha linear e de um conjunto do elevador carregados pela unidade do transporte. O dispositivo de transferência pode também incluir um conjunto do braço que tem um atuador do braço carregado pelo conjunto do elevador para mover-se ao longo de um trajeto do elevador e de um braço carregados pelo atuador do braço para girar sobre o trajeto do elevador. O braço pode incluir uma primeira extensão que projetam-se de um lado do trajeto do elevador e uma segunda extensão que projeta-se de um outro lado do trajeto do elevador. O atuador do braço pode girar o braço sobre o trajeto do elevador. O dispositivo de transferência pode também incluir um primeiro end-effector e um segundo end-effector. O primeiro end-effector é acoplado rotatably à primeira seção do braço para girar aproximadamente uma primeira linha central de rotação, e o segundo end-effector é acoplado rotatably à segunda extensão do braço para girar aproximadamente uma segunda linha central de rotação. Os primeiros e segundos machados da rotação podem estar geralmente paralelos ao trajeto do elevador, que próprio pode ser substancialmente vertical, e os primeiros e segundos end-effectors podem estar em elevações diferentes relativo ao braço.

 
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< Multi-process system with pivoting process chamber

< Reactor for processing a semiconductor wafer

> Microelectronic workpiece transfer devices and methods of using such devices in the processing of microelectronic workpieces

> Method and apparatus for executing plural processes on a microelectronic workpiece at a single processing station

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