There is provided a service method, a service system, and a
manufacturing/inspection apparatus that can reduce the initial cost of use
of the apparatus at the time of introducing a manufacturing/inspection
apparatus and maintain the accuracy after introduction of the apparatus.
In the service method for using the manufacturing/inspection apparatus for
manufacturing or inspecting products such as semiconductor wafer,
semiconductor device, exposure mask or liquid crystal device, the charge
for use of the manufacturing/inspection apparatus is set based on the
manufacturing or inspection difficulty information of the product
manufactured or inspected with the manufacturing/inspection apparatus and
the running information of the manufacturing/inspection apparatus stored
in a physical memory medium.
Παρέχεται μια μέθοδο υπηρεσιών, ένα σύστημα υπηρεσιών, και μια συσκευή κατασκευής/επιθεώρησης που μπορούν να μειώσουν το αρχικό κόστος της χρήσης των συσκευών κατά την διάρκεια της εισαγωγής μιας συσκευής κατασκευής/επιθεώρησης και να διατηρήσουν την ακρίβεια μετά από την εισαγωγή των συσκευών. Στη μέθοδο υπηρεσιών για τις συσκευές κατασκευής/επιθεώρησης για ή τα προϊόντα όπως η γκοφρέτα ημιαγωγών, η συσκευή ημιαγωγών, η μάσκα έκθεσης ή η υγρή συσκευή κρυστάλλου, η δαπάνη για τη χρήση της κατασκευής/η συσκευή επιθεώρησης τίθεται βασισμένη στις πληροφορίες δυσκολίας κατασκευής ή επιθεώρησης του προϊόντος που κατασκευάζεται ή που επιθεωρείται με τις συσκευές κατασκευής/επιθεώρησης και τις τρέχοντας πληροφορίες των συσκευών κατασκευής/επιθεώρησης που αποθηκεύονται σε ένα φυσικό μέσο μνήμης.
