Disclosed are methods and apparatus for efficiently managing IC chip yield
learning. In general terms, as each wafer lot moves through fabrication,
yield information is obtained from each set of test structures for a
particular process or defect mechanism. The nature of the yield
information is such that it may be used directly or indirectly to predict
product wafer test yield. In one implementation, the yield information
includes a systematic yield (Y.sub.0), a defect density (DD), and a defect
clustering factor (.alpha.) determined based on the inspected test
structure's yield. A running average of the yield information for each
process or defect mechanism is maintained as each wafer lot is processed.
As a particular wafer lot moves through the various processes, a product
wafer-sort test yield may be predicted at any stage in the fabrication
process based on the running-average yield information maintained for
previously fabricated wafer lots.
Onthuld worden de methodes en de apparaten om IC spaanderopbrengst het leren efficiënt te beheren. Over het algemeen, aangezien elke wafeltjepartij zich door vervaardiging beweegt, wordt de opbrengstinformatie verkregen uit elke reeks teststructuren voor een bepaald proces of tekortmechanisme. De aard van de opbrengstinformatie is dusdanig dat het kan worden gebruikt om de testopbrengst van het productwafeltje direct of onrechtstreeks te voorspellen. In één implementatie, omvat de opbrengstinformatie een systematische opbrengst (Y.sub.0), een tekortdichtheid (DD), en een tekort zich groepeert factor (alpha.) bepaald gebaseerd op de geïnspecteerde opbrengst van de teststructuur. Een lopend gemiddelde van de opbrengstinformatie voor wordt elk proces of tekortmechanisme gehandhaafd aangezien elke wafeltjepartij wordt verwerkt. Aangezien een bepaalde wafeltjepartij zich door de diverse processen beweegt, kan een product wafeltje-soort testopbrengst in om het even welk stadium in het vervaardigingsproces worden voorspeld dat op de in werking stellen-gemiddelde opbrengstinformatie wordt gebaseerd die voor eerder vervaardigde wafeltjepartijen wordt gehandhaafd.
