Devices and methods for differential numerical aperture analysis of
samples, utilizing angle-of-incidence measurements resulting from variable
illumination or observation numerical apertures, or both. Metrology
applications are provided, and more particularly including scatterometer,
ellipsometer and similar analysis methods, including bi-directional
reflectance or transmission distribution function measurement. The
provided devices and methods enable analysis of critical dimensions of
samples utilizing a minimum of moving parts, with the range of striking or
scattering angles varied by a variable numerical aperture or apertures.
Dispositivos e métodos para a análise numérica diferencial da abertura das amostras, utilizando medidas da ângulo-$$$-INCIDÊNCIA resultando das aberturas numéricas variáveis da iluminação ou da observação, ou ambas. As aplicações da metrologia são fornecidas, e mais particularmente including o scatterometer, o ellipsometer e métodos similares da análise, including a medida bidirecional da reflectância ou da função de distribuição da transmissão. Os dispositivos e os métodos fornecidos permitem a análise de dimensões críticas das amostras que utilizam um mínimo de partes moventes, com a escala de golpear ou de dispersar os ângulos variados por uma abertura ou por umas aberturas numéricas variáveis.
