A piezoelectric thin film resonator which comprises a first electrode, a
second electrode, and a piezoelectric film which is interposed between the
first electrode and the second electrode, and formed of an epitaxial
ferroelectric thin film containing barium titanate, a spontaneous
polarization of the epitaxial ferroelectric thin film being uniaxially
orientated in a direction normal to a film surface.
Пьезоэлектрический резонатор тонкой пленки состоит из первого электрода, второго электрода, и пьезоэлектрической пленки которая interposed между первым электродом и вторым электродом, и сформирована эпитаксиальной ferroelectric тонкой пленки содержа титанат бария, самопроизвольно поляризация эпитаксиальной ferroelectric тонкой пленки uniaxially orientated в нормальном направления к поверхности пленки.
