Embodiments of the present invention are directed to a method and apparatus
for heat pipe cooling of an excimer lamp. In one embodiment, a heat pipe
is used to dissipate heat from an excimer lamp. The heat pipe is in direct
contact with at least one electrode of the excimer lamp. In one
embodiment, heat is transferred through the heat pipe to a cooling point
that is electrically isolated from the lamp. In one embodiment,
dissipation of heat from the cooling point is done by conventional means.
In one embodiment, the heat pipe is on the inside of the lamp. In another
embodiment, a heat pipe is attached to the outside of an excimer lamp. In
another embodiment, two heat pipes are used, one on the inside and one on
the outside of an excimer lamp. In yet another embodiment, a heat pipe is
used with a flat lamp.
Verkörperungen der anwesenden Erfindung werden auf eine Methode und einen Apparat für das Hitzerohrabkühlen einer excimer Lampe verwiesen. In einer Verkörperung wird ein Hitzerohr benutzt, um Hitze von einer excimer Lampe zu zerstreuen. Das Hitzerohr ist im direkten Kontakt mit mindestens einer Elektrode der excimer Lampe. In einer Verkörperung wird Hitze durch das Hitzerohr auf einen abkühlenden Punkt gebracht, der elektrisch von der Lampe lokalisiert wird. In einer Verkörperung wird Ableitung der Hitze vom abkühlenden Punkt mit herkömmlichen Mitteln erfolgt. In einer Verkörperung ist das Hitzerohr auf dem Innere der Lampe. In einer anderen Verkörperung wird ein Hitzerohr zur Außenseite einer excimer Lampe angebracht. In einer anderen Verkörperung werden zwei Hitzerohre, eins auf dem inneren und eins auf der Außenseite einer excimer Lampe benutzt. In dennoch wird eine andere Verkörperung, ein Hitzerohr mit einer flachen Lampe verwendet.
