An object of the invention is to provide a position measuring apparatus
which can measure position information of a mark formed on an object with
high accuracy, and an exposure apparatus which can perform exposure by
performing alignment highly accurately, based on the highly accurate
position information measured by the position measuring apparatus, and as
a result, can realize fine processing. In order to achieve the object, the
present invention is a position information measuring apparatus for
measuring position information of an alignment mark, by converting an
image Im1 of an alignment mark formed on an image pickup plane F1 of an
image pickup device into image information, while scanning the image Im1
in a scanning direction SC1, and performing calculation processing with
respect to the obtained image information, wherein the measuring direction
D11 of the image Im1 of the alignment mark is set so as to be orthogonal
to the scanning direction SC1.
Un oggetto dell'invenzione è fornire uno strumento di misura di posizione che può misurare le informazioni di posizione di un contrassegno formato su un oggetto con alta esattezza e un'apparecchiatura per l'esposizione che può realizzare l'esposizione realizzando l'allineamento altamente esattamente, basata sulle informazioni altamente esatte di posizione misurate dallo strumento di misura di posizione e di conseguenza, può realizzare benissimo l'elaborazione. Per realizzare l'oggetto, la presente invenzione è uno strumento di misura delle informazioni di posizione per le informazioni di misurazione di posizione di un contrassegno di allineamento, convertendo un'immagine Im1 di un contrassegno di allineamento formato su un piano F1 della raccolta di immagine di un dispositivo della raccolta di immagine in informazioni di immagine, mentre esplora l'immagine Im1 in un senso di esame SC1 ed effettuando il calcolo che procede riguardo alle informazioni ottenute di immagine, in cui il senso di misurazione D11 dell'immagine Im1 del contrassegno di allineamento è regolato in modo da essere ortogonale al senso di esame SC1.
