When a lamp is turned on and a wafer is placed on a light exposure surface,
a controlling unit opens a shutter plate so that light is emitted on the
light exposure surface and an illuminometer receives the light. An
accumulated light amount measuring unit converts illumination intensity
measured by the illuminometer to an accumulated light amount. The
controlling unit turns off the lamp by sending a lamp OFF signal to a
power supplying unit. At the same time, the controlling unit sends a
shutter closing command to the power supplying unit. After the shutter is
closed, the controlling unit relight the lamp by sending a lamp ON signal
to the power supplying unit.
Cuando una lámpara se enciende y una oblea se coloca en una superficie de la exposición ligera, una unidad que controla abre una placa del obturador para emitir la luz en la superficie de la exposición ligera y un iluminómetro reciba la luz. Una unidad que mide acumulada de la cantidad ligera convierte la intensidad de la iluminación medida por el iluminómetro a una cantidad ligera acumulada. La unidad que controla da vuelta apagado a la lámpara enviando una lámpara de señal a una unidad que provee de la energía. En el mismo tiempo, la unidad que controla envía un comando de cierre del obturador a la unidad que provee de la energía. Después de que el obturador sea cerrado, la unidad que controla reenciende la lámpara enviando una lámpara EN señal a la unidad que provee de la energía.
