The invention provides a method for forming a ferroelectric thin film that
is uniform and good in crystallinity. The method includes applying a
liquid to a surface of a substrate. The liquid includes ultra-fine
particle powder comprising at least one element constituting the
ferroelectric thin film to a surface of a substrate. The liquid applied to
the surface of substrate is then baked.
La invención proporciona un método para formar una película fina ferroelectric que sea uniforme y buena en cristalinidad. El método incluye la aplicación de un líquido a una superficie de un substrato. El líquido incluye el polvo ultra-fino de la partícula que abarca por lo menos un elemento que constituye la película fina ferroelectric a una superficie de un substrato. El líquido se aplicó a la superficie del substrato entonces se cuece al horno.
