Automated semiconductor processing system

   
   

An automated semiconductor processing system has an indexer bay perpendicularly aligned with a process bay within a clean air enclosure. An indexer in the indexer bay provides stocking or storage for work in progress semiconductor wafers. Process chambers are located in the process bay. A process robot moves between the indexer bay and process bay to carry semi-conductor wafers to and from the process chambers. The process robot has a robot arm vertically moveable along a lift rail. Semiconductor wafers are carried offset from the robot arm, to better avoid contamination. The automated system is compact and requires less clean room floor space.

Автоматизированный системы обработки полупроводника имеет залива indexer перпендикулярно выровнянного с отростчатым заливом в пределах чистого приложения воздуха. Indexer в заливе indexer обеспечивает чулок или хранение для вафель полупроводника работы in progress. Отростчатые камеры расположены в отростчатом заливе. Отростчатый робот двигает между заливом indexer и заливом процесса для того чтобы снести вафли полупроводника to and from отростчатые камеры. Отростчатый робот имеет рукоятку робота вертикальн подвижную вдоль рельса подъема. Вафли полупроводника будут смещением снесенным от рукоятки робота, более лучше избежать загрязнения. Автоматизированной системой будет компакт и требует меньше чистый площади помещения комнаты.

 
Web www.patentalert.com

< Wafer container cleaning system

< Methods for cleaning semiconductor surfaces

> Fluid heating system for processing semiconductor materials

> Methods for cleaning semiconductor surfaces

~ 00113