Semiconductor device

   
   

A semiconductor device which comprises a semiconductor substrate, semiconductor pillar regions each having first and second semiconductor pillar portions, the second semiconductor pillar portion being sandwiched by the first semiconductor pillar portions, a base layer formed in the second semiconductor pillar portion, a source diffusion layer formed in the base layer, a gate insulating film formed on a portion of the base layer, a gate electrode formed on the gate insulating film, and isolation regions which isolates the semiconductor pillar regions from each other and are formed in trenches between the semiconductor pillar regions, wherein each of the isolation regions comprises an oxide film formed on an inner surface of the trench and a nitride film formed on the oxide film, the nitride film being filled in the trench, and a film thickness ratio of the oxide film and the nitride film is in a range of 2:1 to 5:1.

Een halfgeleiderapparaat dat uit uit een halfgeleidersubstraat bestaat, gebieden elk die van de halfgeleiderpijler eerst en uit tweede gedeelten heeft van de halfgeleiderpijler, het tweede gedeelte die van de halfgeleiderpijler door de eerste gedeelten van de halfgeleiderpijler worden geklemd, een basislaag vormde zich in het tweede gedeelte van de halfgeleiderpijler, een bronverspreidingslaag die in de basislaag wordt gevormd, een poort isolerende film die op een gedeelte van de basislaag wordt gevormd, een poortelektrode die op de poort isolerende film wordt gevormd, en isolatiegebieden die isoleert de gebieden van de halfgeleiderpijler van elkaar en in geulen tussen de gebieden van de halfgeleiderpijler gevormd, waarin elk van de isolatiegebieden uit een oxydefilm bestaat die op een binnenoppervlakte van de geul wordt gevormd en de film, de nitridefilm de geul worden ingevuld, en een verhouding die van de filmdikte van de oxydefilm en de nitridefilm is in een waaier van 2:1 tot 5:1.

 
Web www.patentalert.com

< Method, system, and program for generating a deterministic table to determine boundaries between characters

< Ethylene styrene copolymer with isolated styrene

> Electron density measurement and plasma process control system using a microwave oscillator locked to an open resonator containing the plasma

> ECG system with minute ventilation detector

~ 00113