Apparatus and method for rapid thermal processing

   
   

An apparatus for rapid thermal processing is described and includes a cylindrical lamp array structure (13) surrounding a cylindrical process tube (16). The cylindrical process tube (16) has a lengthwise central axis (22). The cylindrical lamp array structure (13) includes heat sources or lamps (26). The lamps (26) are positioned with respect to the cylindrical process tube (16) so that the sides of the lamps (26) focus light energy in the direction of the lengthwise central axis (22). Substrates (12) are oriented within the cylindrical process tube (16) so that the major surfaces (14) of the substrates (12) are substantially normal to the lengthwise central axis (22). In an alternative embodiment, a magnetic field source (19) is included for processing storage devices such as non-volatile memory devices.

Μια συσκευή για τη γρήγορη θερμική επεξεργασία περιγράφεται και περιλαμβάνει μια κυλινδρική δομή σειράς λαμπτήρων (13) που περιβάλλει έναν κυλινδρικό σωλήνα διαδικασίας (16). Ο κυλινδρικός σωλήνας διαδικασίας (16) έχει έναν κατά μήκος κεντρικό άξονα (22). Η κυλινδρική δομή σειράς λαμπτήρων (13) περιλαμβάνει τις πηγές θερμότητας ή τους λαμπτήρες (26). Οι λαμπτήρες (26) τοποθετούνται όσον αφορά τον κυλινδρικό σωλήνα διαδικασίας (16) έτσι ώστε οι πλευρές των λαμπτήρων (26) στρέφουν την ελαφριά ενέργεια στην κατεύθυνση των κατά μήκος κεντρικών υποστρωμάτων άξονα (22). (12) είναι προσανατολισμένες μέσα στον κυλινδρικό σωλήνα διαδικασίας (16) έτσι ώστε οι σημαντικότερες επιφάνειες (14) των υποστρωμάτων (12) είναι ουσιαστικά κανονικές στον κατά μήκος κεντρικό άξονα (22). Σε μια εναλλακτική ενσωμάτωση, μια πηγή μαγνητικών πεδίων (19) συμπεριλαμβάνεται για τις συσκευές αποθήκευσης επεξεργασίας όπως οι συσκευές αμετάβλητης μνήμης.

 
Web www.patentalert.com

< Circuit arrangement for feeding a load

< Method and apparatus for calibrating a measurement system

> Fluorescent lamp, fluorescent lamp unit, liquid crystal display device, and method of emitting light

> Color filter

~ 00113