Optical integrator, illumination optical apparatus, exposure apparatus and observation apparatus

   
   

The present invention is aimed at providing a wavefront dividing type optical integrator which can yield a uniform illuminance distribution substantially over the whole illumination field formed thereby even when the size of each micro lens constituting the optical integrator is made smaller so as to set a large number of wavefront divisions. The optical integrator in accordance with the present invention is a wavefront dividing type optical integrator, having a number of micro lenses arranged two-dimensionally, for forming a number of light sources by dividing a wavefront of an incident beam; each micro lens having a rectangular entrance surface and a rectangular exit surface, and satisfying at least one of the following conditions: (d.sub.1 /2)(D.sub.1 /2)/(.lambda..multidot.f).gtoreq.3.05 (d.sub.2 /2)(D.sub.2 /2)/(.lambda..multidot.f).gtoreq.3.05 where f is the focal length of each micro lens, d.sub.1 is the length of one side of the entrance surface of each micro lens, d.sub.2 is the length of the other side of the entrance surface of each micro lens, D.sub.1 is the length of the side of exit surface in each micro lens corresponding to the one side of entrance surface, D.sub.2 is the length of the side of exit surface in each micro lens corresponding to the other side of entrance surface, and .lambda. is the wavelength of the incident beam.

De onderhavige uitvinding wordt gericht op het verstrekken van een golffront verdelende type optische integrator die een eenvormige verlichtingsdistributie over het gehele gevormde verlichtingsgebied kan wezenlijk opbrengen daardoor zelfs wanneer de grootte van elke micro- lens die de optische integrator vormt kleiner wordt gemaakt om een groot aantal golffrontafdelingen te plaatsen. De optische integrator overeenkomstig de onderhavige uitvinding is een golffront verdelende type optische integrator, die een aantal micro- lenzen heeft, voor het vormen van een aantal lichtbronnen door een golffront van een inherente straal diedimensioneel worden geschikt te verdelen; elke micro- lens die een rechthoekige ingangsoppervlakte en een rechthoekige uitgangsoppervlakte heeft, en aan minstens één van de volgende voorwaarden voldoet: (d.sub.1/2)(D.sub.1/2)/(.lambda..multidot.f).gtoreq.3.05 (d.sub.2/2)(D.sub.2/2)/(.lambda..multidot.f).gtoreq.3.05 waar F de brandpuntslengte van elke micro- lens is, d.sub.1 zijn de lengte van één kant van de ingangsoppervlakte van elke micro- lens, is d.sub.2 de lengte van de andere kant van de ingangsoppervlakte van elke micro- lens, is D.sub.1 de lengte van de kant van uitgangsoppervlakte in elke micro- lens die aan beantwoordt kant van ingangsoppervlakte, is D.sub.2 de lengte van de kant van uitgangsoppervlakte in elke micro- lens die aan de andere kant van ingangsoppervlakte beantwoordt, en lambda. is de golflengte van de inherente straal.

 
Web www.patentalert.com

< Process for preparing chitosan particles

< Fiber devices using GRIN fiber lenses

> Heterocyclic compounds, materials for light emitting devices and light emitting devices using the same

> Display device having an improved envelope for containing pixels therein

~ 00113