An excimer or molecular fluorine laser system includes a wavelength
calibration module permitting the wavelength of the narrow band output
beam to be calibrated to a specific absolute wavelength. The module is
preferably a lamp which contains at least one species including platinum
with an optical transition within the emission spectrum of the laser
system. Light from the lamp is preferably coincident at a spectrometer
with a beam portion from the laser, and the laser beam wavelength is
calibrated by simultaneous analysis at the spectrograph.
Excimer ή μοριακό ένα σύστημα λέιζερ φθορίου περιλαμβάνει μια ενότητα βαθμολόγησης μήκους κύματος που επιτρέπει στο μήκος κύματος της στενής ακτίνας παραγωγής ζωνών για να βαθμολογηθεί σε ένα συγκεκριμένο απόλυτο μήκος κύματος. Η ενότητα είναι κατά προτίμηση ένας λαμπτήρας που περιέχει τουλάχιστον ένα είδος συμπεριλαμβανομένου του λευκόχρυσου με μια οπτική μετάβαση μέσα στο φάσμα εκπομπής του συστήματος λέιζερ. Το φως από το λαμπτήρα είναι κατά προτίμηση συμπίπτον σε ένα φασματόμετρο με μια μερίδα ακτίνων από το λέιζερ, και το μήκος κύματος ακτίνων λέιζερ βαθμολογείται από την ταυτόχρονη ανάλυση στο φασματογράφο.
