To provide a method of making measurements for a sample on the measuring
surfaces of a substrate which makes it possible to simplify the control
and construction of a measuring device, shorten the measuring period, make
the measuring conditions constant, and improve the positional accuracy.
The method and a device for carrying out the method are characterized in
that measurements for the sample is performed by forming a circular orbit
of detection areas, where detection is performed with a detector, on the
measuring surfaces of the substrate while moving the detection areas
relative to the substrate.
Per fornire un metodo di le misure di fabbricazione per un campione sulle superfici di misurazione di un substrato che permette di facilitare il controllo e la costruzione di un dispositivo di misurazione di misura, riduca il periodo di misurazione, faccia il costante di misurazione di circostanze e migliori l'esattezza posizionale. Il metodo e un dispositivo per l'avanzamento del metodo sono caratterizzati in quanto le misure per il campione è realizzata formando un'orbita circolare delle zone di rilevazione, dove la rilevazione è realizzata con un rivelatore, sulle superfici di misurazione del substrato mentre spostano le zone di rilevazione riguardante il substrato.
