Materials and methods for the purification of hydride gases

   
   

Regenerable gas purifier materials are provided capable of reducing the level of contaminants such as oxygen and moisture in a hydride gas stream to parts-per-billion levels or sub-parts-per-billion levels. The purifier materials of this invention comprise a thin layer of one or more reduced forms of a metal oxide coated on the surface of a nonreactive substrate. The thin layer may further contain the completely reduced form of the metal. In one embodiment, the total surface area of the thin layer is less than 100 m.sup.2 /g.

I materiali del purificatore del gas di Regenerable sono capace fornito di ridurre il livello degli agenti inquinanti quali ossigeno ed umidità in un flusso del gas dell'idruro parte-per-miliardo ai livelli o secondario-parte-per-miliardo i livelli. I materiali del purificatore di questa invenzione contengono uno strato sottile una o più forme ridotte di un ossido di metallo ricoperto sulla superficie di un substrato nonreactive. Lo strato sottile può più ulteriormente contenere la forma completamente ridotta del metallo. In un incorporamento, l'area totale dello strato sottile è meno di 100 m.sup.2 /g.

 
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