MEMS mirror and method of fabrication

   
   

A moveable micromirror includes a supporting structure, a flexible post extending from the supporting structure, and a table extending radially from the end of the post along a plane generally perpendicular to the post, the table having a reflective surface facing away from the supporting structure. The post, preferably formed of single-crystal silicon, is dimensioned to be sufficiently flexible to allow the reflective surface to be selectively moveable and positionable, with at least two degrees of freedom, when urged by a suitable actuating force. A method of making an array of moveable micromirrors of this type includes deep etching a silicon substrate so as to form posts surrounded by trenches, etching back the surface of the substrate around the posts so as to allow the posts to protrude beyond the surface of the substrate, and affixing a table with a reflective surface thereon to the tops of a plurality of the posts.

Un micromirror mobile inclut une structure porteuse, un poteau flexible s'étendant de la structure porteuse, et une table se prolongeant radialement de l'extrémité du poteau le long d'un avion généralement perpendiculaire au poteau, la table ayant les revêtements extérieurs r3fléchissants loin de la structure porteuse. Le poteau, de préférence constitué du silicium de simple-cristal, est dimensionné pour être suffisamment flexible pour permettre à la surface r3fléchissante d'être sélectivement mobile et positionable, avec au moins deux degrés de liberté, une fois recommandé par une force de déclenchement appropriée. Une méthode de la fabrication d'une rangée des micromirrors mobiles de ce type inclut gravure à l'eau-forte profonde un substrat de silicium afin de former des poteaux ait entouré par les fossés, le dos gravure à l'eau-forte la surface du substrat autour des poteaux afin de permettre aux poteaux de dépasser au delà de la surface du substrat, et d'apposer une table avec une surface r3fléchissante là-dessus jusqu aux dessus d'une pluralité des poteaux.

 
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> Liquid crystal display component and transparent conductive substrate suitable for the same

> Liquid crystal display device

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