A target assembly in which the sputtering material is not soldered or
otherwise metallurgically bonded to a backing plate. Rather, the target,
which is homogeneously manufactured of sputtering material, is
mechanically coupled (e.g., with bolts) to an adapter, which is itself
permanently affixed to the chamber. As a result, the target can be easily
uncoupled from the chamber and replaced, without also requiring removal
and replacement of a backing plate.
Μια συνέλευση στόχων στην οποία το ψεκάζοντας υλικό δεν είναι συγκολλημένο ή ειδάλλως metallurgically συνδεμένο με ένα υποστηρίζοντας πιάτο. Μάλλον, ο στόχος, που κατασκευάζεται ομοιογενώς της επιμετάλλωσης του υλικού, συνδέεται μηχανικά (π.χ., με τα μπουλόνια) με έναν προσαρμοστή, ο οποίος ο ίδιος επισυνάπτεται μόνιμα στην αίθουσα. Κατά συνέπεια, ο στόχος μπορεί να αποσυνδεθεί εύκολα από την αίθουσα και να αντικατασταθεί, χωρίς επίσης να απαιτήσει την αφαίρεση και την αντικατάσταση ενός υποστηρίζοντας πιάτου.
