Non-contact hysteresis measurements of insulating films

   
   

Non-contact methods for determining a property of an insulating film are provided. One method includes measuring an amount of hysteresis in the insulating film without contacting the insulating film. The method also includes determining the amount of hysteresis in the insulating film. Computer-implemented methods for data analysis are also provided. One computer-implemented method includes determining a single numeric value representing an amount of hysteresis in an insulating film from electrical characteristics of the insulating film. The electrical characteristics are measured without contacting the insulating film. In addition, systems that include a measurement system and a computer-usable carrier medium are provided. The measurement system is configured to measure an amount of hysteresis in an insulating film without contacting the insulating film. The carrier medium includes program instructions, which are executable on a computer system for determining the amount of hysteresis in the insulating film using measurements from the measurement system.

Os métodos non-contact para determinar uma propriedade de uma película isolando são fornecidos. Um método inclui a medição de uma quantidade de histerese na película isolando sem contatar a película isolando. O método inclui também determinar a quantidade de histerese na película isolando. os métodos Computador-executados para a análise de dados são fornecidos também. Um método computador-executado inclui determinar um único valor numérico que representa uma quantidade de histerese em uma película isolando das características elétricas da película isolando. As características elétricas são medidas sem contatar a película isolando. Além, os sistemas que incluem um sistema da medida e um meio computer-usable do portador são fornecidos. O sistema da medida é configurarado para medir uma quantidade de histerese em uma película isolando sem contatar a película isolando. O meio do portador inclui as instruções de programa, que são executáveis em um sistema computatorizado para determinar a quantidade de histerese na película isolando usando medidas do sistema da medida.

 
Web www.patentalert.com

< Conformal thin films over textured capacitor electrodes

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> Barrier material for copper structures

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