A buffer apparatus includes a vertically moving mechanism containing a
plurality of horizontally moving mechanisms to store carriers and transfer
carriers to and from a load port, and one or more buffer load ports
adjacent to the buffer apparatus to charge and uncharge the buffer
apparatus by means of a guided vehicle, an overhead vehicle, or a human. A
buffer system includes a buffer apparatus and a processing system load
port to transfer carriers from the buffer apparatus to a processing system
load port. An arrayed buffer system includes a plurality of buffer systems
where each buffer system interacts with an individual set of load ports or
a pair of buffer systems interacts with a shared set of load ports. A
combination of arrayed buffer systems includes a plurality of adjacent
arrayed buffer systems capable of sharing a single, environmental
front-end mechanism maintenance space and capable of being serviced from
the front.
Un'apparecchiatura dell'amplificatore include un meccanismo verticalmente muoventesi che contiene una pluralità di meccanismi orizzontalmente muoventesi agli elementi portanti del deposito ed agli elementi portanti di trasferimento a e da un orificio del carico ed uno o più carico dell'amplificatore ports adiacente all'apparecchiatura dell'amplificatore per caricarsi ed al uncharge l'apparecchiatura dell'amplificatore per mezzo di un veicolo guidato, di un veicolo ambientale, o di un essere umano. Un sistema dell'amplificatore include un'apparecchiatura dell'amplificatore e un orificio del carico di sistema di elaborazione per trasferire gli elementi portanti dall'apparecchiatura dell'amplificatore ad un carico di sistema di elaborazione port. Un sistema allineato dell'amplificatore include una pluralità di sistemi dell'amplificatore in cui ogni sistema dell'amplificatore si interagisce con un insieme specifico degli orificii del carico o un accoppiamento dei sistemi dell'amplificatore si interagisce con un insieme comune degli orificii del carico. Una combinazione dei sistemi allineati dell'amplificatore include una pluralità di sistemi allineati adiacenti dell'amplificatore capaci di compartecipazione uno spazio a fine frontale di manutenzione del meccanismo e capace singoli e ambientali di assistenza dalla parte anteriore.
