The invention is an improved reflow tool for performing a reflow process
on a wafer. An input robot may be used to transport wafers from an input
carrier to an oven where a reflow process is performed. After processing
the wafers in the oven, the wafers are transported to a storage carrier.
In a preferred embodiment, the storage carrier includes a plurality of
left and right slats that use chamfer tabs and centering tabs to
precisely position the wafer as the wafer is loaded into the storage
carrier. The storage carrier may be part of a buffer indexer that also
includes an actuator for vertically positioning the storage carrier. An
output robot may be used to sequentially remove the wafers from the
storage carrier and to place the wafers in an output carrier. In another
preferred embodiment, the power from a main power supply to the reflow
tool is monitored and an uninterruptible power supply is used to power
the oven and buffer indexer if power is lost. This allows the wafers in
the oven to be safely moved to the storage carrier in the event of a loss
of power from the main power supply.
La invención es una herramienta mejorada del flujo para realizar un proceso del flujo en una oblea. Una robusteza de la entrada se puede utilizar para transportar las obleas de un portador de la entrada a un horno donde se realiza un proceso del flujo. Después de procesar las obleas en el horno, las obleas se transportan a un portador del almacenaje. En una encarnación preferida, el portador del almacenaje incluye una pluralidad de listones izquierdos y derechos que utilicen lengüetas del chaflán y las lengüetas del centro para colocar exacto la oblea mientras que la oblea se carga en el portador del almacenaje. El portador del almacenaje puede ser parte de un controlador paso a paso del almacenador intermediario que también incluya un actuador para verticalmente colocar el portador del almacenaje. Una robusteza de la salida se puede utilizar para quitar secuencialmente las obleas del portador del almacenaje y para colocar las obleas en un portador de la salida. En otra encarnación preferida, la energía de una fuente de alimentación principal a la herramienta del flujo se supervisa y una fuente de alimentación continua se utiliza para accionar al horno y al controlador paso a paso del almacenador intermediario si se pierde la energía. Esto permite que las obleas en el horno sean movidas con seguridad al portador del almacenaje en el acontecimiento de una pérdida de energía desde la fuente de alimentación principal.
