Optical elements such as multilayered EUV mirrors are provided with
protective capping layers of diamond-like carbon (C), boron nitride (BN),
boron carbide (B.sub.4 C), silicon nitride (Si.sub.3 N.sub.4), silicon
carbide (SiC), B, Pd, Ru, Rh, Au, MgF.sub.2, LiF, C.sub.2 F.sub.4 and TiN
and compounds and alloys thereof. The final period of a multilayer coating
may also be modified to provide improved protective characteristics.
Optische Elemente wie vielschichtige EUV Spiegel werden mit schützenden mit einer Kappe bedeckenden Schichten Diamant-wie Carbon (c), Bornitrid (BN), Borkarbid versehen (B.sub.4 C), Silikonnitrid (Si.sub.3 N.sub.4), Silikonkarbid (SiC), B, Palladium, Ru, relative Feuchtigkeit, Au, MgF.sub.2, LiF, C.sub.2 F.sub.4 und Zinn und Mittel und Legierungen davon. Die abschließende Periode einer mehrschichtigen Schicht kann auch geändert werden, um verbesserte schützende Eigenschaften zur Verfügung zu stellen.
