A periodic structure is illuminated by polychromatic electromagnetic
radiation. Radiation from the structure is collected and divided into two
rays having different polarization states. The two rays are detected from
which one or more parameters of the periodic structure may be derived. In
another embodiment, when the periodic structure is illuminated by a
polychromatic electromagnetic radiation, the collected radiation from the
structure is passed through a polarization element having a polarization
plane. The element and the polychromatic beam are controlled so that the
polarization plane of the element are at two or more different
orientations with respect to the plane of incidence of the polychromatic
beam. Radiation that has passed through the element is detected when the
plane of polarization is at the two or more positions so that one or more
parameters of the periodic structure may be derived from the detected
signals. At least one of the orientations of the plane of polarization is
substantially stationary when the detection takes place. To have as small
a footprint as possible, one employs an optical device that includes a
first element directing a polychromatic beam of electromagnetic radiation
to the structure and a second optical element collecting radiation from
the structure where the two elements form an integral unit or are attached
together to form an integrated unit. To reduce the footprint, the
measurement instrument and the wafer are both moved. In one embodiment,
both the apparatus and the wafer undergo translational motion transverse
to each other. In a different arrangement, one of the two motions is
translational and the other is rotational. Any one of the above-described
embodiments may be included in an integrated processing and detection
apparatus which also includes a processing system processing the sample,
where the processing system is responsive to the output of any one of the
above embodiments for adjusting a processing parameter.
Een periodieke structuur wordt verlicht door polychromatic elektromagnetische straling. De straling van de structuur wordt verzameld en in twee stralen die verschillende polarisatiestaten hebben. verdeeld De twee stralen worden ontdekt waaruit één of meerdere parameters van de periodieke structuur kunnen worden afgeleid. In een andere belichaming, wanneer de periodieke structuur door een polychromatic elektromagnetische straling wordt verlicht, wordt de verzamelde straling van de structuur door een polarisatieelement overgegaan dat een polarisatievliegtuig heeft. Het element en de polychromatic straal worden gecontroleerd zodat het polarisatievliegtuig van het element twee of meer verschillende richtlijnen met betrekking tot het vliegtuig van weerslag van de polychromatic straal bedraagt. De straling die door het element heeft overgegaan wordt ontdekt wanneer het vliegtuig van polarisatie bij de twee of meer posities is zodat één of meerdere parameters van de periodieke structuur uit de ontdekte signalen kunnen worden afgeleid. Minstens één van de richtlijnen van het vliegtuig van polarisatie is wezenlijk stationair wanneer de opsporing plaatsvindt. Om een zo kleine voetafdruk te hebben zoals mogelijk, wendt één een optisch apparaat aan dat een eerste element leidend een polychromatic straal van elektromagnetische straling aan de structuur en een tweede optisch element omvat dat straling van de structuur verzamelt waar de twee elementen een integrale eenheid vormen of samen in bijlage zijn om een geïntegreerde eenheid te vormen. Om de voetafdruk te verminderen, worden het metingsinstrument en het wafeltje allebei bewogen. In één belichaming, zowel ondergaan de apparaten als het wafeltje vertalende motie transversaal aan elkaar. In een verschillende regeling, is één van de twee moties vertalend en andere is rotatie. Om het even wie van de hierboven beschreven belichamingen kan in een geïntegreerd verwerking en opsporingsapparaat worden omvat dat ook een verwerkingssysteem omvat dat de steekproef verwerkt, waar het verwerkingssysteem voor de output van om het even wie van de bovengenoemde belichamingen voor het aanpassen van een verwerkingsparameter ontvankelijk is.
