An echelon diffraction grating which has excellent heat resistance and can
be produced at a low cost and an optical waveguide which has high heat
resistance, small absorption of a communication wavelength of a near
infrared range, and satisfies reliability and a low loss at an optical
communication range.
The echelon diffraction grating comprises a substrate, and an
organopolysiloxane film having a maximum thickness of 1 .mu.m to 1 mm
formed on the surface of the substrate and has a plurality of steps having
a predetermined width of 1 to 500 .mu.m and a predetermined height of 5 to
500 .mu.m formed on the organopolysiloxane film, and the
organopolysiloxane film contains dimethylsiloxane and phenyl(or
substituted phenyl)siloxane as essential ingredients.
Grating van de echelondiffractie die uitstekende hittebestendigheid heeft en bij lage kosten en een optische golfgeleider kan worden veroorzaakt die hoge hittebestendigheid, kleine absorptie van een communicatie golflengte van een dichtbijgelegen infrarode waaier, heeft en betrouwbaarheid en een laag verlies bij een optische communicatie waaier tevredenstelt. Grating van de echelondiffractie bestaat uit een substraat, en uit een organopolysiloxanefilm die een maximumdikte van 1 mu.m heeft aan 1 mm dat op de oppervlakte van het substraat wordt gevormd en heeft een meerderheid van stappen die een vooraf bepaalde breedte van mu.m 1 tot 500 en een vooraf bepaalde hoogte van mu.m 5 hebben tot 500 die op de organopolysiloxanefilm wordt gevormd, en de organopolysiloxanefilm bevat dimethylsiloxane en phenyl(or die phenyl)siloxane als essentiële ingrediënten wordt gesubstitueerd.
