Apparatus for alignment and orientation of a wafer for processing

   
   

The effector of a robot is constructed with positioning pads at its distal end. The pads provide an accurate registration surface for engagement of the substrate. A pair of idler rollers, which slide along the longitudinal axis of the effector, is moved by an actuator into engagement with the substrate and the assembly urges the substrate against the positioning pads. A pair of wheels is mounted on a platform independent of the effector with one of the wheels driven by a motor. An optical sensor mounted with the wheels detects an orientation mark on the edge of the substrate and allows the driven wheel to rotate the substrate to its specified angular position.

O effector de um robô é construído com posicionar almofadas em sua extremidade distal. As almofadas fornecem uma superfície exata do registo para o acoplamento da carcaça. Um par de uns rolos mais inativos, que deslizem ao longo da linha central longitudinal do effector, é movido por um atuador no acoplamento com a carcaça e o conjunto incita a carcaça de encontro às almofadas posicionando. Um par das rodas é montado em um independent da plataforma do effector com uma das rodas dirigidas por um motor. Um sensor ótico montado com as rodas detecta uma marca da orientação na borda da carcaça e permite que a roda da movimentação gire a carcaça a sua posição angular especificada.

 
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< Target recognizing device and target recognizing method

< Robot with a manipulator arm

> Attitude control device of mobile robot

> Portable terminal for controlling, programming and/or teaching robots or similar automatic apparatuses

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