Multiplex laser light source and exposure apparatus

   
   

Disclosed herein is a multiplex laser light source equipped with a plurality of semiconductor lasers, a single multi-mode optical fiber, and a light-collecting optics system for collecting laser beams emitted from the plurality of semiconductor lasers and then coupling the collected laser beams to the multi-mode optical fiber.

Hierin gegeben eine Multiplexlaserlichtquelle frei, die mit einer Mehrzahl der Halbleiterlaser, der einzelnen optischen Vielfachbetriebsfaser und des Licht-sammelnden Optiksystems für das Sammeln der Laserstrahlen ausgerüstet wird, die von der Mehrzahl der Halbleiterlaser ausgestrahlt werden und die gesammelten Laserstrahlen dann verbinden zur optischen Vielfachbetriebsfaser.

 
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