A probe assembly for use with a calibration/validation robot to
calibrate/validate a plurality of semiconductor tester channels is
disclosed. The probe assembly includes a bracket adapted for mounting to
the robot and a probe element for engaging test points disposed on the
semiconductor tester channels. A magnetic attach/release mechanism
cooperates with the bracket and probe element to allow for the separation
of the probe element from the bracket whenever the probe element meets a
force that exceeds a predetermined value.
Показан агрегат зонда для пользы с роботом calibration/validation к calibrate/validate множественность каналов тестера полупроводника. Агрегат зонда вклюает кронштейн приспособленный для устанавливать к роботу и элемент зонда для включая размещанных тестовых точек на каналах тестера полупроводника. Магнитный механизм attach/release кооперирует с кронштейном и элементом зонда для того чтобы позволить для разъединения элемента зонда от кронштейна когда элемент зонда встречает усилие превышает предопределенное значение.
