Push-type scheduling for semiconductor fabrication

   
   

Control for a production line that queues work-in-process (WIP) prior to a re-entrant bottleneck processing node, such as a photolithography device in a semi-conductor fabrication line. For each WIP, a determination is made as to whether a cleared trajectory is available through all processing nodes subsequent to the bottleneck processing node and back to the re-entrant node or to exit of the production line. If a cleared trajectory is available, the subsequent processing nodes are reserved for the WIP. The WIP is then injected into the process flow, with the result that secondary bottlenecks at downstream processing nodes are largely avoided because the nodes have been pre-reserved. If a cleared trajectory for more than one WIP is available, selection of one WIP for injection into the workflow can be made based on a queuing or priority based selection process.

Controle para uma linha de produção que trabalh-em-processo das filas (WIP) antes de um nó processando do bottleneck reentrante, tal como um dispositivo do photolithography em uma linha da fabricação do semicondutor. Para cada WIP, uma determinação é feita a respeito de se um trajectory cancelado está disponível com todos os nós processando subseqüentes ao nó e à parte traseira processando do bottleneck ao nó reentrante ou à saída da linha de produção. Se um trajectory cancelado estiver disponível, os nós processando subseqüentes são reserved para o WIP. O WIP é injetado então no fluxo process, com o resultado que os bottlenecks secundários em nós processando downstream estão evitados pela maior parte porque os nós foram pre-pre-reserved. Se um trajectory cancelado para mais de um WIP estiver disponível, a seleção de um WIP para a injeção no workflow pode ser feita baseado em enfileirar-se ou em um processo de seleção baseado prioridade.

 
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< Output control method and apparatus, and storage medium

< Image reading apparatus and an image forming apparatus having the image reading apparatus

> Synchronous position control apparatus and method

> Data processing apparatus and display processing method

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