An inductor is integrated in VLSI and ULSI technology products for very
high frequency applications. The inductor is in a microstrip transmission
line configuration which can be designed in a form of straight line,
spiral line or Meander line. The inductor is formed by shorting the
microstrip center conductor to the lower level ground plane at one end of
the transmission line. This results in an inductance which, for a given
design of transmission line, and in a specified frequency range, is
independent of frequency, within the operating design range. The
microstrip transmission line provides an inductance which could be used on
any type of substrate, with either low or high resistivity. The microstrip
transmission line could utilize two or all of the metal wiring levels of
the technology, allowing a wide range of inductance and quality factor
design tradeoffs. An important feature in this trade-off is the ability to
utilize lower (below the inductor) metal wiring levels, as well as lower
silicon and polysilicon areas for other than inductor design purposes,
without affecting the operation of the inductor. This is because of the
isolation properties of this inductor system. By utilizing isolation
layers with low relative dielectric constant, Further enhancements of the
system are achieved. The inductance of this system is constant within 10%
over a frequency range extending from about 8 GHz to about 35 GHz This
inductor system allows the design to be optimized, through several
parameters, to achieve the desired performance.
Eine Drosselspule wird VLSI und ULSI in der Technologie Produkte für sehr Hochfrequenzanwendungen integriert. Die Drosselspule ist in einer Mikrobandleitergetriebelinie Konfiguration, die in einer Form der geraden Geraden, der Spiralelinie oder der Windunglinie entworfen werden kann. Die Drosselspule wird gebildet, indem man den Mikrobandleitermitteleiter zur Grundfläche des untereren Niveaus bei einem Ende der Getriebelinie kurzschließt. Dieses ergibt eine Induktanz, die, für ein gegebenes Design der Getriebelinie und in einem spezifizierten Frequenzbereich, Unabhängiges der Frequenz ist, innerhalb des funktionierenden Designbereiches. Die Mikrobandleitergetriebelinie liefert eine Induktanz, die auf irgendeiner Art Substrat, entweder mit niedriger oder hoher Widerstandskraft verwendet werden könnte. Die Mikrobandleitergetriebelinie konnte zwei oder alle Metallverdrahtung Niveaus der Technologie verwenden und eine breite Strecke der Induktanz- und Qualitätsfaktordesignkompromisse erlauben. Eine wichtige Eigenschaft in diesem Kompromiß ist die Fähigkeit, unterere (unter der Drosselspule) Metallverdrahtung Niveaus, sowie Silikon und polysilicon Bereiche für anders als Drosselspule Designzwecke niedriger zu verwenden, ohne den Betrieb der Drosselspule zu beeinflussen. Dieses ist wegen der Lokalisierung Eigenschaften dieses Drosselspule Systems. Indem sie verwendet, überlagert Lokalisierung mit niedriger relativer Dielektrizitätskonstante, weitere Verbesserungen des Systems werden erzielt. Die Induktanz dieses Systems ist innerhalb des 10% Überschusses ein den Frequenzbereich konstant, der von ungefähr 8 Gigahertz auf Gigahertz ungefähr 35 dieses Drosselspule System verlängert, erlaubt, daß das Design, durch einige Parameter optimiert wird, um die gewünschte Leistung zu erzielen.
