A normal incidence spectroscopic polarimeter is combined with an oblique
incidence spectroscopic polarimeter to provide an accurate
characterization of complex grating structures, e.g., structures with
sloping sidewalls, with notches and with multiple underlying layers. The
normal incidence spectroscopic polarimeter includes a polarizing element
that is in the path of the normal incidence light beam such that the light
beam is transmitted through the polarizing element before reaching the
sample and after being reflected off the sample. The two systems may
advantageously share a single light source and/or the spectrophotometer.
Поляриметр нормального падения спектроскопический совмещен с поляриметром вкосую падения спектроскопическим для того чтобы обеспечить точную характеризацию сложных grating структур, например, структур с склоняя стенками, с зазубринами и с множественными основными слоями. Поляриметр нормального падения спектроскопический вклюает поляризовывая элемент в курсе светового луча нормального падения такие что световой луч передан через поляризовывая элемент перед достижением образца и после быть отраженным с образца. 2 системы могут выгодн делить одиночный источник света and/or спектрофотометр.
