An optical switch and method of making in which a large number of optical
elements, which may be diffractive or refractive, are formed within the
plane of a wafer to transmit light approximately perpendicularly to the
wafer plane. The optical elements are formed on separate deformable
mechanical elements, such as a plate rotatable about two axes lying
approximately parallel to the wafer plane. Electrical elements, such as
capacitor plates with a free-space gap therebetween selectively deform the
mechanical elements in a micro electromechanical system (MEMS) arrangement
with the optical elements disposed upon the mechanical elements to
separately control the directions in which the light beams are
transmitted. The optical switches may be formed in an array, and two
levels of such arrays formed in separate wafers which are bonded together
allow two-stage switching of light through the assembled structure.
Een optische schakelaar en een methode om te maken waarin een groot aantal optische elementen, die diffractive of brekings kunnen zijn, binnen het vliegtuig van een wafeltje wordt gevormd om licht aan het wafeltjevliegtuig ongeveer loodrecht over te brengen. De optische elementen worden gevormd op afzonderlijke vervormbare mechanische elementen, zoals een plaat draaibare ongeveer twee assen die ongeveer parallel met het wafeltjevliegtuig liggen. De elektro elementen, zoals condensatorplaten met een free-space hiaat therebetween misvormen selectief de mechanische elementen in een micro- elektromechanische systeem (MEMS) regeling met de optische elementen die op de mechanische elementen worden geschikt de richtingen afzonderlijk te controleren waarin de lichtstralen worden overgebracht. De optische schakelaars kunnen in een serie worden gevormd, en twee niveaus van dergelijke series die in afzonderlijke wafeltjes worden gevormd die samen worden geplakt staan omschakeling in twee stadia van licht door de geassembleerde structuur toe.
