An optical reticle substrate inspection apparatus is provided with a laser,
a first acoustooptical element which scans a laser beam output from the
laser, and a second acoustooptical element which generates a virtual image
with a concave lens effect to the laser beam output from the first
acoustooptical element. The optical reticle substrate inspection apparatus
is further provided with a concave lens arranged on the output side of the
laser beam of the second acoustooptical element and an optical system
which images the virtual image on a reticle substrate being an object to
be inspected. The concave lens magnifies the laser beam in a perpendicular
direction to the scanning direction by the first acoustooptical element.
Un'apparecchiatura ottica di controllo del substrato del reticolo è fornita di un laser, di un primo elemento acustoottico che esplora un fascio laser prodotto dal laser e di un secondo elemento acustoottico che genera un'immagine virtuale con un effetto concavo dell'obiettivo al fascio laser prodotto dal primo elemento acustoottico. L'apparecchiatura ottica di controllo del substrato del reticolo più ulteriormente è fornita di un obiettivo concavo organizzato dal lato dell'uscita del fascio laser del secondo elemento acustoottico e di un sistema ottico che immagini l'immagine virtuale su un substrato del reticolo che è un oggetto da controllare. L'obiettivo concavo ingrandisce il fascio laser in un senso perpendicolare al senso di esame dal primo elemento acustoottico.
