A method of operating a vacuum processing system including a plurality of
processing units for processing wafers, a transferring unit for carrying
the wafers and a control unit for controlling the processing units and the
transferring unit. At least two of the plurality of processing units are
connected to the transferring unit and wafers are processed using the
processing units. The method includes the steps of judging whether each of
the processing units is operable or inoperable, isolating inoperable ones
of the processing units judged in the judging step from wafer processing,
carrying wafers to operable ones of the processing units using the
transferring unit and processing the wafers using only the operable
processing units.
Μια μέθοδος ένα κενό σύστημα επεξεργασίας συμπεριλαμβανομένης μιας πολλαπλότητας των μονάδων επεξεργασίας για τις γκοφρέτες επεξεργασίας, μιας μονάδας μεταφοράς για τη μεταφορά των γκοφρετών και μιας μονάδας ελέγχου για τον έλεγχο των μονάδων επεξεργασίας και της μονάδας μεταφοράς. Τουλάχιστον δύο από την πολλαπλότητα των μονάδων επεξεργασίας συνδέονται με τη μονάδα μεταφοράς και οι γκοφρέτες υποβάλλονται σε επεξεργασία χρησιμοποιώντας τις μονάδες επεξεργασίας. Η μέθοδος περιλαμβάνει τα βήματα της κρίσης εάν κάθε μια από τις μονάδες επεξεργασίας είναι λειτουργική ή μη επιδεχόμενη χειρουργική επέμβαση, η απομόνωση της μη επιδεχόμενης χειρουργική επέμβαση αυτού των μονάδων επεξεργασίας έκρινε στο κρίνοντας βήμα από την επεξεργασία γκοφρετών, που φέρνει τις γκοφρέτες στη λειτουργική αυτό των μονάδων επεξεργασίας χρησιμοποιώντας τη μονάδα μεταφοράς και επεξεργασία των γκοφρετών χρησιμοποιώντας μόνο τις λειτουργικές μονάδες επεξεργασίας.
