A transfer chamber for a substrate processing tool includes a main body
having side walls adapted to couple to at least one processing chamber
and at least one load lock chamber. The main body houses at least a
portion of a robot adapted to transport a substrate between the
processing chamber and the load lock chamber. A lid couples to and seals
a top of the main body of the transfer chamber. The transfer chamber also
has a domed bottom adapted to couple to and to seal a bottom portion of
the main body of the transfer chamber.
Un compartimiento de transferencia para un substrato que procesa la herramienta incluye un cuerpo principal que tiene paredes laterales adaptadas a los pares por lo menos a un compartimiento de proceso y por lo menos a un compartimiento de la cerradura de la carga. El cuerpo principal contiene por lo menos una porción de una robusteza adaptada para transportar un substrato entre el compartimiento de proceso y el compartimiento de la cerradura de la carga. Una tapa se junta a y sella una tapa del cuerpo principal del compartimiento de transferencia. El compartimiento de transferencia también tiene un fondo abovedado adaptado a los pares a y sellar a una porción inferior del cuerpo principal del compartimiento de transferencia.
