A method and apparatus are described for removing an initial gas from a
gas-filled enclosure between the mask-protective device, such as a
pellicle, and the patterned mask, such as a reticle, and adding a purge
gas with a different composition. The gas-filled enclosure includes a vent
for adding the purge gas to the enclosure and removing the initial gas
from the enclosure. Adding and removing may be accomplished by using
pressure, diffusion, or vacuum.
Een methode en een apparaat worden beschreven voor het verwijderen van een eerste gas uit een gas-filled bijlage tussen het masker-beschermende apparaat, zoals een pellicle, en het gevormde masker, zoals een dradenkruis, en het toevoegen van een zuiveringsgas met een verschillende samenstelling. De gas-filled bijlage omvat een opening voor het toevoegen van het zuiveringsgas aan de bijlage en het verwijderen van het aanvankelijke gas uit de bijlage. Het toevoegen en het verwijderen kunnen worden verwezenlijkt door druk, verspreiding, of vacuüm te gebruiken.
