A pattern enlarged from a transfer pattern is divided into patterns (Pi) of
a plurality of master reticles (Ri). Images of the patterns (Pi) of the
plurality of master reticles (Ri) reduced by a projection optical system
are successively-projected and exposed on the surface of a blank (mask
substrate) while stitching. Marks (M1, M2) indicating identification
information for identifying a master reticle from another master reticle,
transfer positions, etc. are formed on the master reticles (Ri). These
marks (M1, M2) are detected before the exposure and exposure is performed
in accordance with the information on the transfer position etc. shown by
the marks (M1, M2) or reticle information (exposure conditions, various
correction values, etc.) relating to the master reticles stored and held
in advance corresponding to the identification information. The number of
work steps when producing a working reticle using the plurality of master
reticles is reduced and occurrence of work errors can be prevented.
Un modello ingrandito da un modello di trasferimento è diviso nei modelli (pi) di una pluralità di reticoli matrici (Ri). Le immagini dei modelli (pi) della pluralità di reticoli matrici (Ri) ridotti da un sistema ottico della proiezione successivo-sono proiettate ed esposte sulla superficie di uno spazio in bianco (substrato della mascherina) mentre cucono. I contrassegni (M1, m2) indicanti le informazioni dell'identificazione per identificare un reticolo matrice da un altri reticolo, posizioni di trasferimento, ecc. matrici sono formati sui reticoli matrici (Ri). Questi contrassegni (M1, m2) sono rilevati prima dell'esposizione e dell'esposizione è effettuato in conformità con le informazioni sulla posizione ecc. di trasferimento indicata dai contrassegni (M1, m2) o dalle informazioni del reticolo (esposizione condiziona, vari valori di correzione, ecc.) concernente i reticoli del padrone immagazzinati ed ha tenuto in anticipo corrispondere alle informazioni dell'identificazione. Il numero di punti di lavoro quando produrre un reticolo funzionante che usando la pluralità di reticoli matrici è ridotto ed il caso degli errori del lavoro possono essere evitati.
