Process of drying a cast polymeric film disposed on a workpiece

   
   

A process of drying a cast film polymeric disposed upon a workpiece. In this process a cast polymeric film, which includes a volatile organic compound therein, disposed on a workpiece, is contacted with an extraction agent which may be liquid carbon dioxide or supercritical carbon dioxide.

Ein Prozeß des Trocknens ein Formfilmpolymerisches abgeschaffen nach einem Werkstück. In diesem Prozeß schuf ein polymerischer Film der Form, der ein löschbares organisches Mittel darin miteinschließt, auf einem Werkstück, wird befragt mit einem Extraktionmittel ab, das flüssiges Kohlendioxyd oder überkritisches Kohlendioxyd sein kann.

 
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< Method and apparatus for cleaning substrates using liquid carbon dioxide

< Supercritical solutions for cleaning photoresist and post-etch residue from low-k materials

> Polymerization of non-fluorinated monomers in carbon dioxide

> Gas generating device

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