Method for fabricating capacitor in semiconductor device

   
   

The present invention relates to a method for fabricating a capacitor in a semiconductor device; and, more particularly, to a method for fabricating a capacitor capable of stably forming a nitride layer on a lower electrode and obtaining improvements on stable capacitance and leakage current characteristics. The inventive method for fabricating a capacitor includes the steps of: forming a lower electrode on a substrate; forming a nitride-based first dielectric thin layer on the lower electrode; forming a second dielectric thin layer by depositing an Al.sub.2 O.sub.3 layer on the nitride-based first dielectric thin layer; forming a third dielectric thin layer on the second dielectric thin layer; and forming an upper electrode on the third dielectric thin layer.

A invenção atual relaciona-se a um método para fabricar um capacitor em um dispositivo de semicondutor; e, mais particularmente, a um método para fabricar um capacitor capaz estàvel de dar forma a uma camada do nitride em um elétrodo mais baixo e de obter melhorias em características estáveis da corrente da capacidade e do escapamento. O método inventive para fabricar um capacitor inclui as etapas de: dando forma a um elétrodo mais baixo em uma carcaça; dando forma a uma primeira camada fina dieléctrica nitride-baseada no elétrodo mais baixo; dando forma a uma segunda camada fina dieléctrica depositando uma camada de Al.sub.2 O.sub.3 na primeira camada fina dieléctrica nitride-baseada; dando forma a uma terceira camada fina dieléctrica na segunda camada fina dieléctrica; e dando forma a um elétrodo superior na terceira camada fina dieléctrica.

 
Web www.patentalert.com

< Array containing charge storage and dummy transistors and method of operating the array

< Protecting metal conductors with sacrificial organic monolayers

> Semiconductor device with silicide source/drain and high-K dielectric

> Devices containing platinum-iridium films and methods of preparing such films and devices

~ 00104