An improved microsystems testing and characterization system which allows
the system user to identify specific structures, and thereby to initiate
an automated testing sequence to be applied to that structure or a series
of structures. The integrated control system that governs the present
invention automates the power supply to the device under test, the
precision motion control of all components, the sensor operation, data
processing and data presentation. Therefore operation is autonomous once
the microstructure is in place and the testing sequence is specified. The
integrated testing system can be used to perform tests on an entire wafer
or on a single die.
Улучшенные microsystems испытывая и система характеризации позволяет потребителю системы определить специфически структуры, и таким образом начать автоматизированную испытаний последовательность, котор нужно приложить к той структуре или серии структур. Интегрированный системаа управления управляет присытствыющим вымыслом автоматизирует источник питания к приспособлению под испытанием, управлением движения точности всех компонентов, деятельностью датчика, вводом информации и представлением данных. Поэтому деятельность автономно как только микроструктура in place и испытаний последовательность определена. Систему комплексного испытания можно использовать для того чтобы выполнить испытания на всей вафле или по одиночная плашка.
