As the output of laser oscillators become higher, it becomes necessary to
develop a longer linear shape beam for a process of laser annealing of a
semiconductor film. However, if the length of the linear shape beam is
from 300 to 1000 mm, or greater, then the optical path length of an
optical system for forming the linear shape beam becomes very long,
thereby increasing its footprint size. The present invention shortens the
optical path length. In order to make the optical path length of the
optical system as short as possible, and to increase only the length of
the linear shape beam, curvature may be given to the semiconductor film in
the longitudinal direction of the linear shape beam. For example, if the
size of the linear shape beam is taken as 1 m.times.0.4 mm, then it is
necessary for the optical path length of the optical system to be on the
order of 10 m. If, however, the semiconductor film is given curvature with
a radius of curvature of 40,000 mm, then the optical path length of the
optical system can be halved to approximately 5 m, and a linear shape beam
having an extremely uniform energy distribution can be obtained.
Δεδομένου ότι η παραγωγή των ταλαντωτών λέιζερ γίνεται υψηλότερη, γίνεται απαραίτητο να αναπτυχθεί μια μακρύτερη γραμμική ακτίνα μορφής για μια διαδικασία της ανόπτησης λέιζερ μιας ταινίας ημιαγωγών. Εντούτοις, εάν το μήκος της γραμμικής ακτίνας μορφής είναι από 300 έως 1000 χιλ., ή μεγαλύτερος, κατόπιν το οπτικό μήκος πορειών ενός οπτικού συστήματος για τη γραμμική ακτίνα μορφής γίνεται πολύ μακροχρόνιο, με αυτόν τον τρόπο αυξάνοντας το μέγεθος ίχνους του. Η παρούσα εφεύρεση κονταίνει το οπτικό μήκος πορειών. Προκειμένου να γίνει το οπτικό μήκος πορειών του οπτικού συστήματος όσο το δυνατόν πιό απότομα, και για να αυξήσει μόνο το μήκος της γραμμικής ακτίνας μορφής, η κυρτότητα μπορεί να δοθεί στην ταινία ημιαγωγών στη διαμήκη κατεύθυνση της γραμμικής ακτίνας μορφής. Παραδείγματος χάριν, εάν το μέγεθος της γραμμικής ακτίνας μορφής λαμβάνεται ως 1 m.times.0.4 χιλ., κατόπιν είναι απαραίτητο για το οπτικό μήκος πορειών του οπτικού συστήματος να είναι σε παραγγελία 10 μ. Εάν, εντούτοις, στην ταινία ημιαγωγών δίνεται η κυρτότητα με μια ακτίνα της κυρτότητας 40.000 χιλ., κατόπιν το οπτικό μήκος πορειών του οπτικού συστήματος μπορεί να διχοτομηθεί σε περίπου 5 μ, και μια γραμμική ακτίνα μορφής που έχει μια εξαιρετικά ομοιόμορφη ενεργειακή διανομή μπορεί να ληφθεί.
