In accordance with the invention, a electromechanical optical modulator
comprising an optical membrane, a substrate and Fabry-Perot air gap
between them is provided with an improved structure for controlling light
transmitted into the substrate. Specifically, an etched and coated cavity
is formed in the backwall of the substrate underlying the air gap to
receive transmitted light and redirect it onto controllable paths within
the substrate. Advantageously the substrate is silicon, and the cavity is
produced by anisotropic etching.
Secondo l'invenzione, un modulatore ottico elettromeccanico che contengono una membrana ottica, un substrato e spacco di aria di Fabry-Perot fra loro è fornito di una struttura migliorata per luce di controllo trasmessa nel substrato. Specificamente, una cavità incisa e rivestita è formato nel backwall del substrato di fondo lo spacco di aria per ricevere la luce trasmessa e per riorientarlo sui percorsi controllabili all'interno del substrato. Il substrato è vantaggiosamente silicone e la cavità è prodotta acquaforte anisotropa.
