A method and system for in-line monitoring process performance during wafer
fabrication. First signals generated by a fabrication tool are collected
and filtered to exclude abnormal signals while a model wafer is processed.
The filtered first signals are regulated and normalized to generate model
wafer data. After the fabrication process is completed, the model wafer is
measured to generate a measured value representing the process quality
thereof. The model wafer data and the measured value of the model wafer
are used to build a correlation model by a correlation unit. Second
signals generated by the fabrication tool are collected when a run wafer
is processed, and then filtered to exclude abnormal signals. The filtered
second signals are regulated and normalized to generate run wafer data. A
predicted value representing the process quality of the run wafer is
generated by inputting the run wafer data into the correlation model.
Een methode en een systeem voor in-line prestaties van het controleproces tijdens wafeltjevervaardiging. De eerste signalen die door een vervaardigingshulpmiddel worden geproduceerd worden verzameld en gefiltreerd om abnormale signalen uit te sluiten terwijl een modelwafeltje wordt verwerkt. De gefiltreerde eerste signalen zijn geregeld en genormaliseerd om modelwafeltjegegevens te produceren. Nadat het vervaardigingsproces wordt voltooid, wordt het modelwafeltje gemeten om een gemeten waarde te produceren die de proceskwaliteit daarvan vertegenwoordigt. De modelwafeltjegegevens en de gemeten waarde van het modelwafeltje worden gebruikt om een correlatiemodel te bouwen door een correlatieeenheid. De tweede signalen die door het vervaardigingshulpmiddel worden geproduceerd worden verzameld wanneer een looppaswafeltje, wordt verwerkt en dan gefiltreerd om abnormale signalen uit te sluiten. De gefiltreerde tweede signalen zijn geregeld en genormaliseerd om de gegevens van het looppaswafeltje te produceren. Een voorspelde waarde die de proceskwaliteit van wordt het looppaswafeltje vertegenwoordigt geproduceerd door de gegevens van het looppaswafeltje in het correlatiemodel in te voeren.
