A substrate processing system and a computer-readable storage medium for
directing operation of a substrate processing system are provided for
preparing a substrate for processing. The substrate processing system has
a chamber with a substrate receiving portion and systems equipped to
implement plasma processes. The computer-readable storage medium has a
program that directs operation of the systems. The substrate is positioned
within the chamber in a location not on the substrate receiving portion. A
gaseous flow is provided to the chamber, from which a plasma is struck to
heat the substrate. After the substrate has been heated, it is moved to
the substrate receiving portion for processing.
Um sistema processando da carcaça e um meio de armazenamento computer-readable para dirigir a operação de um sistema processando da carcaça são fornecidos preparando uma carcaça para processar. O sistema processando da carcaça tem uma câmara com uma carcaça que recebe a parcela e os sistemas equipados para executar processos do plasma. O meio de armazenamento computer-readable tem um programa que dirija a operação dos sistemas. A carcaça é posicionada dentro da câmara em uma posição não na carcaça que recebe a parcela. Um fluxo gasoso é fornecido à câmara, de que um plasma é golpeado para aquecer a carcaça. Depois que a carcaça foi aquecida, está movida para a carcaça que recebe a parcela para processar.
