A method of making an optical waveguide structure for an active PLC device
having a reduced dn/dt birefringence. The method includes the step of
forming a waveguide core layer on a bottom cladding, the waveguide core
layer having a higher refractive index than the bottom cladding. The
waveguide core layer is then etched to define a waveguide core. A top
cladding is subsequently formed over the waveguide core and the bottom
cladding. The top cladding also has a lower refractive index than the
waveguide core. The top cladding is then etched to define a first trench
and a second trench parallel to the waveguide core. The first trench and
the second trench are configured to relieve a stress on the waveguide
core. This stress can be induced by a heater, as in a case where the
active PLC is a thermo-optic PLC. The first trench and the second trench
can extend from an upper surface of the top cladding to an upper surface
of the bottom cladding. The first trench and the second trench can extend
from the upper surface of the top cladding into a portion of the
underlying substrate. The first trench and the second trench are
configured to balance a tensile stress within the waveguide core. A cap
can be formed over the waveguide core prior to forming the top cladding to
further balance the tensile stress within the waveguide core. The bottom
cladding can have a higher dopant concentration than the top cladding.
Un metodo di fabbricazione della struttura ottica della guida di onde per un dispositivo attivo del PLC che ha una birifrangenza ridotta di dn/dt. Il metodo include il punto di formare uno strato su un rivestimento inferiore, lo strato di nucleo della guida di onde di nucleo della guida di onde che ha un più alto indice di rifrazione che il rivestimento inferiore. Lo strato di nucleo della guida di onde allora è inciso per definire un nucleo della guida di onde. Un rivestimento superiore successivamente è formato sopra il nucleo della guida di onde ed il rivestimento inferiore. Il rivestimento superiore inoltre ha un indice di rifrazione più basso che il nucleo della guida di onde. Il rivestimento superiore allora è inciso per definire una prima trincea e una seconda trincea parallele al nucleo della guida di onde. La prima trincea e la seconda trincea sono configurate per alleviare uno sforzo sul nucleo della guida di onde. Questo sforzo può essere indotto da un riscaldatore, come in un caso dove il PLC attivo è un PLC termo-ottico. La prima trincea e la seconda trincea possono estendersi da una superficie superiore del rivestimento superiore fino una superficie superiore del rivestimento inferiore. La prima trincea e la seconda trincea possono estendersi dalla superficie superiore del rivestimento superiore in una parte del substrato di fondo. La prima trincea e la seconda trincea sono configurate per equilibrare uno sforzo di tensione all'interno del nucleo della guida di onde. Una protezione può essere formata sopra il nucleo della guida di onde prima del formare il rivestimento superiore ulteriormente per equilibrare lo sforzo di tensione all'interno del nucleo della guida di onde. Il rivestimento inferiore può avere un'più alta concentrazione di dopant che il rivestimento superiore.
