Capacitive pressure-responsive devices and their fabrication

   
   

A method for making capacitive silicon pressure sensors and pressure switches with high long-term stability involves fabrication by wafer bonding of a silicon substrate wafer with another silicon wafer where a highly boron-doped diaphragm is defined by a self-aligned doping process through a window defined on an insulating layer. The long-term stability of the device is secured by anisotropically etching the window, e.g. by reactive ion etching, so as to create vertical window walls. The flatness of the diaphragm can be secured by the provision of an insulating film on the backside of the substrate wafer that compensates the stress on the silicon diaphragm created by the insulating layer present between the two wafers. The cavity formed by the window may contain gas or it may be evacuated in which case the fabrication method may also involve a process step facilitating the evacuation of the cavity and sealing the same using metal employed for making electrical connections.

Μια μέθοδος για τους χωρητικούς αισθητήρες πίεσης πυριτίου και τους διακόπτες πίεσης με την υψηλή μακροπρόθεσμη σταθερότητα περιλαμβάνει την επεξεργασία με τη σύνδεση γκοφρετών μιας γκοφρέτας υποστρωμάτων πυριτίου με μια άλλη γκοφρέτα πυριτίου όπου ένα ιδιαίτερα βόριο-ναρκωμένο διάφραγμα καθορίζεται με μια μόνος-ευθυγραμμισμένη διαδικασία νάρκωσης μέσω ενός παραθύρου που καθορίζεται σε ένα στρώμα μόνωσης. Η μακροπρόθεσμη σταθερότητα της συσκευής εξασφαλίζεται με anisotropically να χαράξει το παράθυρο, π.χ. από την αντιδραστική ιονική χαρακτική, ώστε να δημιουργηθούν οι κάθετοι τοίχοι παραθύρων. Η λειότητα του διαφράγματος μπορεί να εξασφαλιστεί από την παροχή μονώνοντας ταινίας στην πίσω πλευρά της γκοφρέτας υποστρωμάτων που αντισταθμίζει την πίεση στο διάφραγμα πυριτίου που δημιουργείται από το στρώμα μόνωσης παρόν μεταξύ των δύο γκοφρετών. Η κοιλότητα που διαμορφώνεται από το παράθυρο μπορεί να περιέχει αέριο ή μπορεί να εκκενωθεί οπότε σ'αυτή την περίπτωση η μέθοδος επεξεργασίας μπορεί επίσης να περιλάβει ένα βήμα διαδικασίας που διευκολύνει την εκκένωση της κοιλότητας και που σφραγίζει το ίδιο χρησιμοποιώντας μέταλλο που χρησιμοποιείται για την παραγωγή των ηλεκτρικών συνδέσεων.

 
Web www.patentalert.com

< Electromagnetic interference immune tissue invasive system

< Force feedback device including actuator with moving magnet

> Systems and methods for magnetic resonance imaging elastography

> Therapy management techniques for an implantable medical device

~ 00103