An automated phase assignment method is described that allows multiple
rules for defining phase shifters to be used within a single cell. The
rules for defining phase shifters can be sequenced. Then for a cell, the
rules can be recursively applied. At each stage if the number of phase
conflicts is below a threshold, then portions of the cell having conflicts
are masked and processed using the next less aggressive rule set. This in
turn leads to phase shifting masks with greater variation in phase shifter
shapes and sizes. When the mask is used to fabricate integrated circuits
(ICs), the resulting IC may have a greater number of small transistors and
other features than a mask defined using only a single rule set per cell.
Additional benefits can include better process latitude during IC
fabrication and improved yield.
Автоматизированный метод назначения участка описан позволяет множественные правила для определяя сдвигателей участка быть использованным внутри single cell. Правила для определяя сдвигателей участка можно sequenced. После этого для клетки, правила можно рекурсивно приложить. На каждом этапе если число конфликтов участка под порогом, то, после этого части клетки имея конфликты замаскированы и обработаны использующ следующий более менее завоевательный комплект правила. Это в свою очередь водит для того чтобы фазировать перенося маски с большим изменением в формах и размерах сдвигателя участка. Когда маска использована для того чтобы изготовить интегрированные цепи (ICs), приводя к IC может иметь большой количество малых транзисторов и других характеристик чем определенная маска использующ только одиночное правило установленное в клетку. Дополнительные преимущества могут включить более лучшую отростчатую широту во время изготовления IC и улучшенного выхода.
