A mirror, or an array of mirrors, for use in a micro-electro-mechanical
system (MEMS) optical device. The mirror includes a mirror substrate
having a loss-reducing layer located over a first or second side thereof,
and a light reflective optical layer located over the loss-reducing layer.
The inventive mirror reduces undesirable Fabry-Perot interferrometric
optical loss through minimizing the extent of multiple reflections within
the MEMS mirror substrate.
Een spiegel, of een serie van spiegels, voor gebruik in een micro-electro-mechanical systeem (MEMS) optisch apparaat. De spiegel omvat een spiegelsubstraat een verlies-verminderende laag hebben die over een eerste of tweede kant daarvan wordt gevestigd, en een lichte weerspiegelende optische laag die die meer dan de verlies-verminderende laag wordt gevestigd. De vindingrijke spiegel vermindert ongewenst interferrometric optisch verlies fabry-Perot door het minimaliseren van de omvang van veelvoudige bezinningen binnen het MEMS spiegelsubstraat.
