The invention provides a polishing pad comprising composite particles that
comprise a solid core encapsulated by a polymeric shell material, wherein
the solid core comprises a material that differs from the polymeric shell
material, as well as a method of polishing a substrate with such a
polishing pad.
De uitvinding verstrekt een oppoetsend stootkussen bestaand uit samengestelde deeltjes die uit een stevige kern bestaan die door een polymeer shell materiaal wordt ingekapseld, waarin de stevige kern uit een materiaal bestaat dat van het polymere shell materiaal verschilt, evenals een methode om een substraat met een dergelijk oppoetsend stootkussen op te poetsen.
