An ellipsometer and ellipsometry method uses radial symmetry. For example,
circularly polarized light may be focused to a spot on a sample using an
objective lens and reflected therefrom. A radially symmetric ellipsometric
signal based on the reflected light and representative of at least one
characteristic of the sample may be attained using a radially symmetric
analyzer apparatus, e.g., a pure Polarization rotator such as two half
wave plates and a radially symmetric analyzer such as a birefringent lens.
Un ellipsometer e un metodo ellipsometry usa la simmetria radiale. Per esempio, la luce circolarmente polarizzata può essere messa a fuoco ad un punto su un campione per mezzo di un obiettivo obiettivo ed essere riflessa da ciò. Un segnale ellipsometric radialmente simmetrico basato sulla luce e sul rappresentante riflessi almeno di una caratteristica del campione può essere raggiunto per mezzo di un'apparecchiatura radialmente simmetrica dell'analizzatore, per esempio, un rotatore puro di polarizzazione quali due piastre a semi onda e un analizzatore radialmente simmetrico quale un obiettivo birifrangente.
